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关键词:
电子
石墨
半导体
材料
使用
耐热性
里面
高热
涂层
产品描述
电子半导体行业使用石墨材料的比例很大,由于石墨材料有优良的可加工性, 耐热性.高纯度,高热导性,同时对金属的的低润湿性,发热均匀性,这对 电子半导体特性的非常重要。
半导体元器件(电容,电阻,二极管,连接器),集成电路封装的模具,治具。 感应加热氧化物的石墨舟皿,及其他配件。
硅外延设备,表面sic涂层的石墨基座。
CZ直拉单晶硅石墨热场里面的:加热器,导流筒,三瓣锅,石墨电极。
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